Điện trở nhạy cảm với độ ẩm-được đặc trưng bởi một màng làm bằng vật liệu nhạy cảm với độ ẩm-được phủ trên một chất nền. Khi hơi nước trong không khí được hấp phụ trên màng-nhạy cảm với độ ẩm, điện trở suất và điện trở của phần tử sẽ thay đổi và đặc tính này có thể được sử dụng để đo độ ẩm.
Tụ điện-nhạy cảm với độ ẩm thường được làm bằng tụ điện màng mỏng-polyme. Các vật liệu polymer thường được sử dụng bao gồm polystyrene, polyimide và cellulose acetate butyrate. Khi độ ẩm xung quanh thay đổi, hằng số điện môi của tụ điện nhạy cảm với độ ẩm-sẽ thay đổi, khiến điện dung của nó cũng thay đổi. Sự thay đổi điện dung tỷ lệ thuận với độ ẩm tương đối.
Cảm biến độ ẩm điện tử có thể đạt được độ chính xác 2-3%RH, cao hơn so với phép đo bầu ướt và bầu khô.
Tuy nhiên, các phần tử nhạy cảm với độ ẩm-có độ tuyến tính và khả năng chống nhiễm bẩn kém. Khi phát hiện độ ẩm xung quanh, phần tử-nhạy cảm với độ ẩm tiếp xúc với môi trường trong thời gian dài, khiến nó dễ bị ô nhiễm và ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo cũng như độ ổn định-lâu dài. Về mặt này, nó không tốt bằng phương pháp đo bóng đèn-ướt và{6}}bóng khô.
