Giống như phạm vi đo, độ chính xác của phép đo là một trong những chỉ số quan trọng nhất của cảm biến. Mỗi điểm phần trăm được cải thiện đều thể hiện một bước nhảy vọt đáng kể, thậm chí là một sự thay đổi về đẳng cấp của cảm biến. Điều này là do chi phí sản xuất và giá bán rất khác nhau tùy thuộc vào độ chính xác cần thiết. Ví dụ: một cảm biến độ ẩm nhập khẩu rẻ tiền chỉ có giá vài đô la, trong khi một-cảm biến độ ẩm toàn dải để hiệu chỉnh có giá vài trăm đô la-chênh lệch gần gấp trăm lần. Do đó, người dùng phải lựa chọn theo nhu cầu cụ thể của mình và tránh mù quáng theo đuổi các cảm biến "cao cấp, chính xác và tiên tiến".
Các nhà sản xuất thường cung cấp độ chính xác của cảm biến độ ẩm theo từng phân đoạn. Ví dụ: ±2%RH cho phạm vi độ ẩm trung bình và thấp (0-80%RH) và ±4%RH cho phạm vi độ ẩm cao (80-100%RH). Hơn nữa, độ chính xác này dựa trên nhiệt độ cụ thể (ví dụ: 25 độ). Nếu sử dụng cảm biến độ ẩm ở các nhiệt độ khác nhau thì kết quả đo cũng phải tính đến ảnh hưởng của sự chênh lệch nhiệt độ. Như đã biết, độ ẩm tương đối là một hàm của nhiệt độ và nhiệt độ ảnh hưởng đáng kể đến độ ẩm tương đối trong một không gian nhất định. Mỗi nhiệt độ thay đổi 0,1 độ sẽ dẫn đến độ ẩm thay đổi 0,5%RH (lỗi). Nếu khó đạt được nhiệt độ không đổi trong môi trường ứng dụng thì việc yêu cầu độ chính xác đo độ ẩm quá cao là không phù hợp. Vì độ ẩm dao động theo sự thay đổi nhiệt độ nên việc thảo luận về độ chính xác đo độ ẩm cao trở nên vô nghĩa. Do đó, kiểm soát nhiệt độ là điều tối quan trọng để kiểm soát độ ẩm, đó là lý do tại sao cảm biến nhiệt độ và độ ẩm tích hợp được sử dụng rộng rãi thay vì chỉ đơn giản là cảm biến độ ẩm.
Trong hầu hết các trường hợp, nếu không có khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác hoặc không gian đo không được bịt kín thì độ chính xác ±5%RH là đủ. Đối với các ứng dụng yêu cầu kiểm soát chính xác nhiệt độ và độ ẩm không đổi trong một không gian cục bộ hoặc khi cần theo dõi liên tục sự thay đổi độ ẩm, nên chọn ±3%RH.
